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Tetrafluoruro de carbono
El tetrafluorometano, también conocido como tetrafluoruro de carbono, es el fluorocarbono (CF₄) más simple. Presenta una gran fuerza de enlace debido a la naturaleza del enlace carbono-flúor. También puede clasificarse como haloalcano o halometano. Debido a los múltiples enlaces carbono-flúor y a la mayor electronegatividad del flúor, el carbono del tetrafluorometano posee una carga parcial positiva significativa que refuerza y acorta los cuatro enlaces carbono-flúor, proporcionándole un carácter iónico adicional. El tetrafluorometano es un potente gas de efecto invernadero.
El tetrafluorometano se utiliza a veces como refrigerante de baja temperatura. Se emplea en la microfabricación de productos electrónicos, solo o en combinación con oxígeno, como agente de grabado de plasma para silicio, dióxido de silicio y nitruro de silicio.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| N.º CAS | 75-73-0 | N.º EINECS | 200-896-5 |
| Punto de fusión | -184℃ | Punto de ebullición | -128,1℃ |
| solubilidad | Insoluble en agua | Densidad | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Apariencia | Un gas incoloro, inodoro, no inflamable y comprimible. | Solicitud | Se utiliza en el proceso de grabado de plasma para varios circuitos integrados y también como gas láser, refrigerante, etc. |
| Número de identificación DOT | ONU 1982 | NOMBRE DE ENVÍO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gas comprimido o refrigerante R14 |
| Clase de peligro DOT | Clase 2.2 |
| Artículo | Valor, grado I | Valor, grado II | Unidad |
| Pureza | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Otros fluorocarbonos | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Otros fluorocarbonos se refieren a C2F6,DO3F8 | |||
Notas
1) Todos los datos técnicos indicados anteriormente son para su referencia.
2) Se agradecen especificaciones alternativas para mayor discusión.
