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Gas argón para la industria electrónica (Ar)
| Artículo | Propiedad técnica | |
| Pureza del argón (Ar) (fracción de volumen)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Hidrógeno (H2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Nitrógeno (N2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Oxígeno (O2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Contenido total de monóxido de carbono (CO) y dióxido de carbono (CO2), (fracción de volumen)/10-6≤ | Monóxido de carbono: 0,1 Dióxido de carbono: 0,1 | 0.5 |
| Contenido total de hidrocarburos (calculado a partir de metano) (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Agua (H2O) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Contenido total de impurezas (fracción de volumen)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Grano | Acordado por el Proveedor y el Demandante | Acordado por el Proveedor y el Demandante |
| Nota: El contenido de agua del argón líquido se medirá después de la gasificación. | ||
Campo de aplicación: Se utiliza principalmente para la purga, protección y presurización del sistema. También se puede utilizar en deposición química de vapor, pulverización catódica, grabado de plasma e iones activos, recocido y otros procesos, así como en gases mixtos especiales para electrónica.
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