Ero | Teknika Posedaĵo | ||
Pura oksigeno | Alta pureca oksigeno | Ultrapura oksigeno | |
Oksigeno (O2) pureco (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Argona (Ar) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbona dioksido (CO2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Totala hidrokarbona enhavo (volumenfrakcio) (kalkulita per metano)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Akvo (H2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Aplika kampo: ĉefe uzata en la preparado de normaj gasmiksaĵoj, scienca esplorado, produktado de integraj cirkvitoj kaj duonkonduktaĵaj aparatoj, kaj aliaj kampoj kun altaj postuloj pri oksigena pureco.