Ero | Teknika Posedaĵo |
Alta pureca neono | |
Neono (Ne) pureco (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.999 |
Enhavo de heliumo (He) (volumenfrakcio)/10-6≤ | 6 |
Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 |
Oksigeno+argono (kalkulita per oksigeno) (O2+Ar) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 |
Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio) zz/10-6≤ | 2 |
Karbona monoksido (CO) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 |
Karbona dioksido (CO2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 |
Metano (CH4) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.1 |
Akvo (H2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 2 |
Totala malpuraĵa enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 10 |