Ero | Teknika Posedaĵo | ||
Alta pureca ksenono GB/T5828-2006 | Ultrapura ksenono | ||
Ksenona (Xe) pureco (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Oksigeno (O2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0.5(O2+Ar) | 0.1 |
Argona (Ar) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.05 | ||
Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Karbona monoksido (CO) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05(CO+CO2) |
Karbondioksida (CO2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Metano (CH4) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Akvo (H2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Kriptona (Kr) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Ridgaso (N2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
Fluorido (C2F6) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
Fluorido (SF6) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | N/A | N/A | 0.05 |
Aplikkampoj: ĉefe uzata en duonkondukta industrio, aerspaca, elektra lumfonta industrio, medicina traktado, elektra vakuo, esplorado pri malluma materio, lasero kaj aliaj kampoj