Ero | Teknika Posedaĵo |
Alta pureca heliumo | |
Heliumo He pureco (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.999 |
Neono (Ne) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 4 |
Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6 ≤ | 1 |
Oksigeno (O2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6 ≤ | 1 |
Argona (Ar) enhavo (volumenfrakcio)/10-6 ≤ | |
Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6 ≤ | 2 |
Karbona monoksido (CO) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 |
Karbona dioksido (CO2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 |
Metano (CH4) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 |
Akvo H2O-enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 3 |
Totala enhavo de la revuo/10-6≤ | 10 |