Ero | Teknika Posedaĵo | |
Pureco de argono (Ar) (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
Oksigeno (O2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Totala enhavo de karbonmonooksido (CO) kaj karbondioksido (CO2), (volumenfrakcio)/10-6≤ | Karbona monooksido: 0.1 Karbona dioksido: 0.1 | 0.5 |
Totala hidrokarbida (kalkulita per metano) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
Akvo (H2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Totala malpuraĵa enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 | 8 |
Greno | Interkonsentita de la Provizanto kaj la Postulanto | Interkonsentita de la Provizanto kaj la Postulanto |
Noto: La akvoenhavo de likva argono devas esti mezurata post gasigado |
Aplikkampo: ĉefe uzata por purigado, protekto kaj premadigo de la sistemo. Ĝi ankaŭ povas esti uzata en kemia vapora deponado, ŝprucado, plasmo kaj aktiva jona gravurado, kalcinado kaj aliaj diversaj procezoj, same kiel en elektronikaj specialaj miksitaj gasoj.