Είδος | Τεχνική Περιουσία |
Νέον υψηλής καθαρότητας | |
Καθαρότητα νέον (Ne) (κλάσμα όγκου)/10-2≥ | 99.999 |
Περιεκτικότητα ηλίου (He) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 6 |
Υδρογόνο (Η2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1 |
Οξυγόνο+αργό (υπολογισμένο με οξυγόνο) (Ο2+Ar) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1 |
Άζωτο (Ν2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου) zz/10-6≤ | 2 |
Περιεκτικότητα σε μονοξείδιο του άνθρακα (CO) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0.2 |
Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0.2 |
Μεθάνιο (CH4) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0.1 |
Νερό (Η2ΙΕ) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 2 |
Ολική περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 10 |