Είδος | Τεχνική Ιδιοκτησία | ||
Κρυπτό υψηλής καθαρότητας GB/T5829-2006 | Υπερκαθαρό κρυπτό | ||
Καθαρότητα Kr (κλάσμα όγκου)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
Άζωτο (Ν2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 2 | 1.5 | 0,2 |
Οξυγόνο (O2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1,5 (Ο2+Αργ) | 0,5 (Ο2+Αργ) | 0,1 |
Περιεκτικότητα σε αργό (Ar) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0,05 | ||
Υδρογόνο (H2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0,5 | 0,2 | 0,05 |
Περιεκτικότητα σε μονοξείδιο του άνθρακα (CO) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0,4 | 0,1 | 0,05 |
Μεθάνιο (CH4) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Νερό (H2O) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Περιεκτικότητα σε ξένον (Xe) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Φθόριο (CF4) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1 | 0,2 | 0,05 |
Τομέας εφαρμογής: χρησιμοποιείται κυρίως στη βιομηχανία ημιαγωγών, στη βιομηχανία ηλεκτρικού κενού, στη βιομηχανία ηλεκτρικής πηγής φωτός, καθώς και στο αέριο λέιζερ, στην ιατρική υγεία και σε άλλους τομείς.