Το τετραφθορομεθάνιο, γνωστό και ως τετραφθοριούχος άνθρακας, είναι ο απλούστερος φθοράνθρακας (CF4).Έχει πολύ υψηλή αντοχή συγκόλλησης λόγω της φύσης του δεσμού άνθρακα-φθορίου.Μπορεί επίσης να ταξινομηθεί ως αλογονοαλκάνιο ή αλογονομεθάνιο.Λόγω των πολλαπλών δεσμών άνθρακα-φθορίου και της υψηλότερης ηλεκτραρνητικότητας του φθορίου, ο άνθρακας στο τετραφθορομεθάνιο έχει ένα σημαντικό θετικό μερικό φορτίο που ενισχύει και βραχύνει τους τέσσερις δεσμούς άνθρακα-φθορίου παρέχοντας πρόσθετο ιοντικό χαρακτήρα.Το τετραφθορομεθάνιο είναι ένα ισχυρό αέριο του θερμοκηπίου.
Το τετραφθορομεθάνιο χρησιμοποιείται μερικές φορές ως ψυκτικό μέσο χαμηλής θερμοκρασίας.Χρησιμοποιείται στη μικροκατασκευή ηλεκτρονικών ειδών μόνο του ή σε συνδυασμό με οξυγόνο ως χαρακτικό πλάσματος για το πυρίτιο, το διοξείδιο του πυριτίου και το νιτρίδιο του πυριτίου.
Χημική φόρμουλα | CF4 | Μοριακό βάρος | 88 |
CAS Αρ. | 75-73-0 | EINECS Αρ. | 200-896-5 |
Σημείο τήξης | -184℃ | Σημείο κορεσμού | -128,1℃ |
διαλυτότητα | Αδιάλυτο στο νερό | Πυκνότητα | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
Εμφάνιση | Άχρωμο, άοσμο, μη εύφλεκτο, συμπιέσιμο αέριο | Εφαρμογή | χρησιμοποιείται στη διαδικασία χάραξης πλάσματος για διάφορα ολοκληρωμένα κυκλώματα και χρησιμοποιείται επίσης ως αέριο λέιζερ, ψυκτικό κ.λπ. |
DOT ID Αριθμός | ΟΗΕ 1982 | ΟΝΟΜΑ ΑΠΟΣΤΟΛΗΣ DOT/IMO: | Τετραφθορομεθάνιο, Συμπιεσμένο ή Ψυκτικό Αέριο R14 |
Τάξη επικινδυνότητας DOT | Κλάση 2.2 |
Είδος | Τιμή, βαθμός I | Αξία, βαθμός II | Μονάδα |
Καθαρότητα | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Άλλοι φθοράνθρακες | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Οξύτητα | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
*άλλοι φθοράνθρακες αναφέρονται στο C2F6,ΝΤΟ3F8 |
Σημειώσεις
1) όλα τα τεχνικά δεδομένα που αναφέρονται παραπάνω είναι για αναφορά σας.
2) Η εναλλακτική προδιαγραφή είναι ευπρόσδεκτη για περαιτέρω συζήτηση.