Artikel | Technische Eigenschaften | ||
Hochreines Krypton GB/T5829-2006 | Ultrareines Krypton | ||
Kr Reinheit (Volumenanteil)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
Stickstoff (N2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 2 | 1,5 | 0,2 |
Sauerstoff (O2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1,5 (O2+Ar) | 0,5 (O2+Ar) | 0,1 |
Argon (Ar)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,05 | ||
Wasserstoff (H2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,5 | 0,2 | 0,05 |
Kohlenmonoxid (CO)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Kohlendioxid (CO2) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,4 | 0,1 | 0,05 |
Methan (CH4) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Wasser (H2O)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Xenon (Xe)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,2 |
Fluorid (CF4) Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1 | 0,2 | 0,05 |
Anwendungsbereich: hauptsächlich in der Halbleiterindustrie, der elektrischen Vakuumindustrie, der elektrischen Lichtquellenindustrie sowie in der Lasergas-, Medizin- und Gesundheitsindustrie und anderen Bereichen eingesetzt