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Tetrafluorkohlenstoff
Tetrafluormethan, auch Tetrafluorkohlenstoff genannt, ist der einfachste Fluorkohlenwasserstoff (CF4). Aufgrund der Kohlenstoff-Fluor-Bindung weist es eine sehr hohe Bindungsstärke auf. Es kann auch als Halogenalkan oder Halogenmethan klassifiziert werden. Aufgrund der zahlreichen Kohlenstoff-Fluor-Bindungen und der höchsten Elektronegativität von Fluor weist der Kohlenstoff in Tetrafluormethan eine signifikante positive Partialladung auf, die die vier Kohlenstoff-Fluor-Bindungen durch zusätzlichen ionischen Charakter verstärkt und verkürzt. Tetrafluormethan ist ein starkes Treibhausgas.
Tetrafluormethan wird manchmal als Kältemittel bei niedrigen Temperaturen verwendet. Es wird in der Mikrofertigung von Elektronik allein oder in Kombination mit Sauerstoff als Plasmaätzmittel für Silizium, Siliziumdioxid und Siliziumnitrid eingesetzt.
| Chemische Formel | CF4 | Molekulargewicht | 88 |
| CAS-Nr. | 75-73-0 | EINECS-Nr. | 200-896-5 |
| Schmelzpunkt | -184℃ | Boling-Punkt | -128,1 °C |
| Löslichkeit | Unlöslich in Wasser | Dichte | 1,96 g/cm³ (-184 °C) |
| Aussehen | Ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares, komprimierbares Gas | Anwendung | wird im Plasmaätzverfahren für verschiedene integrierte Schaltkreise verwendet und auch als Lasergas, Kühlmittel usw. verwendet. |
| DOT-ID-Nummer | UN1982 | DOT/IMO-VERSANDNAME: | Tetrafluormethan, komprimiertes oder Kältemittelgas R14 |
| DOT-Gefahrenklasse | Klasse 2.2 |
| Artikel | Wert, Note I | Wert, Note II | Einheit |
| Reinheit | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andere Fluorkohlenwasserstoffe | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Säure | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andere Fluorkohlenwasserstoffe beziehen sich auf C2F6,C3F8 | |||
Hinweise
1) Alle oben angegebenen technischen Daten dienen zu Ihrer Information.
2) Alternative Spezifikationen sind für weitere Diskussionen willkommen.
