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Kohlenstofftetrafluorid
Tetrafluormethan, auch Tetrafluorkohlenstoff genannt, ist der einfachste Fluorkohlenwasserstoff (CF4).Aufgrund der Beschaffenheit der Kohlenstoff-Fluor-Bindung weist es eine sehr hohe Bindungsstärke auf.Es kann auch als Haloalkan oder Halomethan klassifiziert werden.Aufgrund der mehrfachen Kohlenstoff-Fluor-Bindungen und der höchsten Elektronegativität von Fluor weist der Kohlenstoff in Tetrafluormethan eine deutlich positive Teilladung auf, die die vier Kohlenstoff-Fluor-Bindungen stärkt und verkürzt, indem sie zusätzlichen ionischen Charakter verleiht.Tetrafluormethan ist ein starkes Treibhausgas.
Tetrafluormethan wird manchmal als Kältemittel für niedrige Temperaturen verwendet.Es wird in der Mikrofertigung von Elektronik allein oder in Kombination mit Sauerstoff als Plasmaätzmittel für Silizium, Siliziumdioxid und Siliziumnitrid verwendet.
| Chemische Formel | CF4 | Molekulargewicht | 88 |
| CAS-Nr. | 75-73-0 | EINECS-Nr. | 200-896-5 |
| Schmelzpunkt | -184℃ | Boling-Punkt | -128,1℃ |
| Löslichkeit | Nicht in Wasser löslich | Dichte | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aussehen | Ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares, komprimierbares Gas | Anwendung | Wird im Plasmaätzprozess für verschiedene integrierte Schaltkreise sowie als Lasergas, Kältemittel usw. verwendet. |
| DOT-ID-Nummer | UN1982 | DOT/IMO-VERSANDNAME: | Tetrafluormethan, komprimiertes Gas oder Kältemittel R14 |
| DOT-Gefahrenklasse | Klasse 2.2 |
| Artikel | Wert, Note I | Wert, Klasse II | Einheit |
| Reinheit | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andere Fluorkohlenwasserstoffe | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Säure | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *Andere Fluorkohlenwasserstoffe beziehen sich auf C2F6,C3F8 | |||
Anmerkungen
1) Alle oben angegebenen technischen Daten dienen als Referenz.
2) Alternativspezifikationen sind zur weiteren Diskussion willkommen.
