Produkter
Kulstoftetrafluorid
Tetrafluormethan, også kendt som carbontetrafluorid, er den enkleste fluorcarbon (CF4).Det har en meget høj bindingsstyrke på grund af arten af kulstof-fluorbindingen.Det kan også klassificeres som en haloalkan eller halomethan.På grund af de multiple carbon-fluor-bindinger og den højeste elektronegativitet af fluor, har carbonet i tetrafluormethan en betydelig positiv partiel ladning, som styrker og forkorter de fire carbon-fluor-bindinger ved at give yderligere ionisk karakter.Tetrafluormethan er en potent drivhusgas.
Tetrafluormethan bruges nogle gange som et lavtemperaturkølemiddel.Det bruges i elektronisk mikrofremstilling alene eller i kombination med oxygen som plasmaætsemiddel for silicium, siliciumdioxid og siliciumnitrid.
| Kemisk formel | CF4 | Molekylær vægt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS nr. | 200-896-5 |
| Smeltepunkt | -184℃ | Boling point | -128,1 ℃ |
| opløselighed | Uopløseligt i vand | Massefylde | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Udseende | En farveløs, lugtfri, ikke brændbar, komprimerbar gas | Ansøgning | bruges i plasmaætsningsprocesser til forskellige integrerede kredsløb, og bruges også som lasergas, kølemiddel osv. |
| DOT ID-nummer | FN 1982 | DOT/IMO FORSENDELSESNAVN: | Tetrafluormethan, komprimeret eller kølemiddelgas R14 |
| DOT-fareklasse | Klasse 2.2 |
| Vare | Værdi, klasse I | Værdi, klasse II | Enhed |
| Renhed | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andre fluorcarboner | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Surhed | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andre fluorcarboner henviser til C2F6、C3F8 | |||
Noter
1) alle de tekniske data angivet ovenfor er til din reference.
2) alternativ specifikation er velkommen til yderligere diskussion.
