Tetrafluoromethane, a elwir hefyd yn garbon tetrafluoride, yw'r fflworocarbon symlaf (CF4).Mae ganddo gryfder bondio uchel iawn oherwydd natur y bond carbon-fflworin.Gellir ei ddosbarthu hefyd fel haloalcan neu halomethan.Oherwydd y bondiau carbon-fflworin lluosog, a'r electronegatifedd uchaf o fflworin, mae gan y carbon mewn tetrafluoromethane wefr rhannol bositif sylweddol sy'n cryfhau ac yn byrhau'r pedwar bond carbon-fflworin trwy ddarparu cymeriad ïonig ychwanegol.Mae tetrafluoromethane yn nwy tŷ gwydr cryf.
Weithiau defnyddir tetrafluoromethane fel oergell tymheredd isel.Fe'i defnyddir mewn microfabrication electroneg yn unig neu mewn cyfuniad ag ocsigen fel ysgythriad plasma ar gyfer silicon, silicon deuocsid, a nitrid silicon.
Fformiwla gemegol | CF4 | Pwysau moleciwlaidd | 88 |
Rhif CAS. | 75-73-0 | EINECS Rhif. | 200-896-5 |
Ymdoddbwynt | -184 ℃ | Pwynt bollio | -128.1 ℃ |
hydoddedd | Anhydawdd mewn dŵr | Dwysedd | 1.96g/cm³(-184℃) |
Ymddangosiad | Nwy cywasgadwy di-liw, diarogl, anfflamadwy | Cais | a ddefnyddir mewn proses ysgythru plasma ar gyfer gwahanol gylchedau integredig, a'i ddefnyddio hefyd fel nwy laser, oergell ac ati. |
Rhif ID DOT | UN1982 | ENW LLONGAU DOT/IMO: | Tetrafluoromethan, Nwy Cywasgedig neu Oergell R14 |
Dosbarth Perygl DOT | Dosbarth 2.2 |
Eitem | Gwerth, gradd I | Gwerth, gradd II | Uned |
Purdeb | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
Fflworocarbonau eraill | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
Asidrwydd | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
* mae fflworocarbonau eraill yn cyfeirio at C2F6、C3F8 |
Nodiadau
1) mae'r holl ddata technegol a nodir uchod ar gyfer eich cyfeirnod.
2) croesewir manyleb amgen ar gyfer trafodaeth bellach.