Položka | Technické vlastnosti | ||
Čistý kyslík | Vysoce čistý kyslík | Ultračistý kyslík | |
Kyslík (O2) čistota (objemový zlomek)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
Vodík (H2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Obsah argonu (Ar) (objemový podíl)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Dusík (N2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Oxid uhličitý (CO2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Celkový obsah uhlovodíků (objemový podíl) (vypočteno z metanu)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Voda (H2obsah O) (objemový podíl)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Oblast použití: používá se hlavně při přípravě standardních plynných směsí, vědeckém výzkumu, výrobě integrovaných obvodů a polovodičových součástek a dalších oblastech s vysokými požadavky na čistotu kyslíku.