produkty
Tetrafluorid uhličitý
Tetrafluormethan, také známý jako tetrafluorid, je nejjednodušší fluorovaný uhlovodík (CF4).Má velmi vysokou pevnost vazby díky povaze vazby uhlík-fluor.Může být také klasifikován jako halogenalkan nebo halogenmethan.Kvůli vícenásobným vazbám uhlík-fluor a nejvyšší elektronegativitě fluoru má uhlík v tetrafluormethanu významný kladný parciální náboj, který posiluje a zkracuje čtyři vazby uhlík-fluor poskytnutím dalšího iontového charakteru.Tetrafluormethan je silný skleníkový plyn.
Tetrafluormethan se někdy používá jako nízkoteplotní chladivo.Používá se při mikrovýrobě elektroniky samostatně nebo v kombinaci s kyslíkem jako plazmové leptadlo pro křemík, oxid křemičitý a nitrid křemíku.
| Chemický vzorec | CF4 | Molekulární váha | 88 |
| Č. CAS | 75-73-0 | Číslo EINECS | 200-896-5 |
| Bod tání | -184 ℃ | Bolingův bod | -128,1℃ |
| rozpustnost | Nerozpustný ve vodě | Hustota | 1,96 g/cm³（-184℃） |
| Vzhled | Bezbarvý, nehořlavý, stlačitelný plyn bez zápachu | aplikace | používá se v procesu plazmového leptání pro různé integrované obvody a používá se také jako laserový plyn, chladivo atd. |
| ID číslo DOT | UN1982 | DOT/IMO DOPRAVNÍ NÁZEV: | Tetrafluormethan, stlačený nebo chladící plyn R14 |
| Třída nebezpečnosti DOT | Třída 2.2 |
| Položka | Hodnota, stupeň I | Hodnota, stupeň II | Jednotka |
| Čistota | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Ostatní fluorované uhlovodíky | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kyselost | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostatní fluorované uhlovodíky odkazují na C2F6,C3F8 | |||
Poznámky
1) všechny výše uvedené technické údaje jsou pouze pro vaši informaci.
2) alternativní specifikace je vítána pro další diskusi.
