Tetrafluoromethane, cunnisciutu ancu tetrafluorur di carbonu, hè u fluorocarbonu più simplice (CF4).Hà una forza di ligame assai alta per via di a natura di u ligame carbonu-fluoru.Pò esse ancu classificatu cum'è haloalkane o halomethane.A causa di i multipli ligami di carbonu-fluoru, è di a più alta electronegatività di u fluoru, u carbonu in u tetrafluoromethane hà una carica parziale positiva significativa chì rinforza è accurta i quattru legami di carbone-fluoru fornendu un caratteru ionicu supplementu.Tetrafluoromethane hè un gasu di serra potente.
Tetrafluoromethane hè qualchì volta utilizatu com'è un refrigerante à bassa temperatura.Hè utilizatu in a microfabricazione di l'elettronica solu o in cumbinazione cù l'ossigenu cum'è un plasma di plasma per u siliciu, u diossidu di siliciu è u nitruru di siliciu.
Formula chimica | CF4 | Pesu moleculare | 88 |
CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
Puntu di fusione | -184 ℃ | Puntu di boling | -128,1 ℃ |
solubilità | Insoluble in acqua | Densità | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
Apparizione | Un gas incolore, inodore, ininfiammabile, cumprimibile | Applicazione | Adupratu in u prucessu di incisione di plasma per diversi circuiti integrati, è ancu usatu cum'è gas laser, refrigerante, etc. |
Numero ID DOT | ONU 1982 | NOME DI SPEDIZIONE DOT/IMO: | Tetrafluoromethane, Gas Cumpressu o Refrigerante R14 |
Classe di Periculu DOT | Classe 2.2 |
Articulu | Valeur, classe I | Valeur, classe II | Unità |
Purità | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
Altri fluorocarboni | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
Acidità | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
* altri fluorocarburi si riferiscenu à C2F6、 C3F8 |
Notes
1) tutti i dati tecnichi indicati sopra sò per u vostru riferimentu.
2) specificazione alternativa hè benvenuta per più discussione.