Productes
Tetrafluorur de carboni
El tetrafluorometà, també conegut com a tetrafluorur de carboni, és el fluorocarbon (CF4) més simple.Té una força d'enllaç molt alta a causa de la naturalesa de l'enllaç carboni-fluor.També es pot classificar com a haloalcà o halometà.A causa dels múltiples enllaços carboni-fluor i de la més alta electronegativitat del fluor, el carboni del tetrafluorometà té una càrrega parcial positiva significativa que reforça i escurça els quatre enllaços carboni-fluor proporcionant un caràcter iònic addicional.El tetrafluorometà és un gas d'efecte hivernacle potent.
El tetrafluorometà s'utilitza de vegades com a refrigerant a baixa temperatura.S'utilitza en la microfabricació electrònica sol o en combinació amb oxigen com a gravador de plasma per a silici, diòxid de silici i nitrur de silici.
| Fórmula química | CF4 | Pes molecular | 88 |
| CAS Núm. | 75-73-0 | EINECS núm. | 200-896-5 |
| Punt de fusió | -184℃ | Punt de boling | -128,1 ℃ |
| solubilitat | Insoluble en aigua | Densitat | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aparença | Un gas incolor, inodor, no inflamable i compressible | Aplicació | s'utilitza en el procés de gravat per plasma per a diversos circuits integrats, i també s'utilitza com a gas làser, refrigerant, etc. |
| Número d'identificació DOT | UN1982 | NOM D'ENVIAMENT DOT/IMO: | Tetrafluorometà, gas comprimit o refrigerant R14 |
| Classe de perill DOT | Classe 2.2 |
| Article | Valor, grau I | Valor, grau II | Unitat |
| Puresa | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Altres fluorocarburs | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidesa | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *altres fluorocarburs es refereixen a C2F6、C3F8 | |||
Notes
1) Totes les dades tècniques indicades anteriorment són per a la vostra referència.
2) L'especificació alternativa és benvinguda per a més discussió.
