Stavka | Tehnička imovina | ||
Čisti kisik | Kiseonik visoke čistoće | Ultračisti kisik | |
Kiseonik (O2) čistoća (volumenski udio)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99,9999 |
Vodonik (H2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Sadržaj argona (Ar) (volumenski udio)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
Dušik (N2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
Ugljikov dioksid (CO2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
Ukupni sadržaj ugljikovodika (volumenski udio) (izračunato prema metanu)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
Voda (H2O) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Područje primjene: uglavnom se koristi u pripremi standardne plinske smjese, naučnim istraživanjima, proizvodnji integriranih krugova i poluvodičkih uređaja, te drugim područjima s visokim zahtjevima za čistoću kisika.