Stavka | Tehnička imovina | ||
Ksenon visoke čistoće GB/T5828-2006 | Ultračisti ksenon | ||
Čistoća ksenona (Xe) (volumenski udio)/10-2≥ | 99.999 | 99,9995 | 99,9999 |
Dušik (N2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
Kiseonik (O2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 1,5(O2+Ar) | 0,5(O2+Ar) | 0,1 |
Sadržaj argona (Ar) (volumenski udio)/10-6≤ | 0,05 | ||
Vodonik (H2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
Sadržaj ugljičnog monoksida (CO) (volumenski udio)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
Sadržaj ugljičnog dioksida (CO2) (volumenski udio)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
Metan (CH4) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
Voda (H2O) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Sadržaj kriptona (Kr) (volumenski udio)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
Dušikov oksid (N2O) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (C2F6) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
Fluorid (SF6) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | Nije dostupno | Nije dostupno | 0,05 |
Područja primjene: uglavnom se koristi u poluprovodničkoj industriji, vazduhoplovstvu, industriji električnih izvora svjetlosti, medicinskom tretmanu, električnom vakuumu, istraživanju tamne materije, laserima i drugim oblastima