Proizvodi
Tetrafluorid ugljenika
Tetrafluorometan, takođe poznat kao ugljen-tetrafluorid, je najjednostavniji fluorougljenik (CF4).Ima vrlo visoku čvrstoću veze zbog prirode veze ugljik-fluor.Takođe se može klasifikovati kao haloalkan ili halometan.Zbog višestrukih veza ugljik-fluor i najveće elektronegativnosti fluora, ugljik u tetrafluorometanu ima značajan pozitivni parcijalni naboj koji jača i skraćuje četiri veze ugljik-fluor dajući dodatni jonski karakter.Tetrafluorometan je moćan gas staklene bašte.
Tetrafluorometan se ponekad koristi kao rashladno sredstvo niske temperature.Koristi se u mikroproizvodnji elektronike sam ili u kombinaciji s kisikom kao sredstvo za jetkanje u plazmi za silicijum, silicijum dioksid i silicijum nitrid.
| Hemijska formula | CF4 | Molekularna težina | 88 |
| CAS br. | 75-73-0 | EINECS br. | 200-896-5 |
| Tačka topljenja | -184℃ | Boling point | -128,1℃ |
| rastvorljivost | Nerastvorljivo u vodi | Gustina | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Izgled | Bezbojan, nezapaljiv, kompresibilan gas bez mirisa | Aplikacija | koristi se u procesu plazma jetkanja za različite integrirane krugove, a koristi se i kao laserski plin, rashladno sredstvo itd. |
| DOT ID broj | UN1982 | DOT/IMO NAZIV DOSTAVE: | Tetrafluorometan, komprimovani ili rashladni gas R14 |
| DOT klasa opasnosti | Klasa 2.2 |
| Stavka | Vrijednost, I stepen | Vrijednost, ocjena II | Jedinica |
| Čistoća | ≥99.999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Ostali fluorougljenici | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Kiselost | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *drugi fluorougljenici se odnose na C2F6、C3F8 | |||
Bilješke
1) svi gore navedeni tehnički podaci su za vašu referencu.
2) alternativna specifikacija je dobrodošla za dalju diskusiju.
