আইটেম | প্রযুক্তিগত সম্পত্তি |
উচ্চ বিশুদ্ধতা নিয়ন | |
নিয়ন (Ne) বিশুদ্ধতা (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-2≥ | 99.999 |
হিলিয়াম (He) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 6 |
হাইড্রোজেন (এইচ2) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 1 |
অক্সিজেন + আর্গন (অক্সিজেন দ্বারা গণনা করা হয়) (ও2+Ar) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 1 |
নাইট্রোজেন (এন2) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ) zz/10-6≤ | 2 |
কার্বন মনোক্সাইড (CO) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 0.2 |
কার্বন ডাই অক্সাইড (CO2) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 0.2 |
মিথেন (CH4) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 0.1 |
জল (এইচ2O) বিষয়বস্তু (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 2 |
মোট অপবিত্রতা সামগ্রী (ভলিউম ভগ্নাংশ)/10-6≤ | 10 |