Елемент | Техническа собственост | ||
Чист кислород | Кислород с висока чистота | Ултрачист кислород | |
Кислород (O2) чистота (обемна фракция)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Водород (H2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Съдържание на аргон (Ar) (обемна фракция)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Азот (N2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Въглероден диоксид (CO2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
Общо съдържание на въглеводороди (обемна фракция) (изчислено чрез метан)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
Вода (H2O) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Област на приложение: използва се главно при приготвянето на стандартни газови смеси, научни изследвания, производство на интегрални схеми и полупроводникови устройства и други области с високи изисквания за чистота на кислорода.