Елемент | Техническа собственост | ||
Чист азот | Азот с висока чистота | Ултрачист азот | |
Азот (N2) чистота (обемна фракция)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
Кислород (O2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Съдържание на аргон (Ar) (обемна фракция)/10-6≤ | - | - | 2 |
Водород (H2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Съдържание на въглероден оксид (CO) (обемна фракция)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Въглероден диоксид (CO2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Метан (CH4) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Вода (H2O) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |