Елемент | Техническа собственост |
Хелий с висока чистота | |
Хелий He чистота (обемна фракция)/10-2≥ | 99.999 |
Съдържание на неон (Ne) (обемна фракция)/10-6≤ | 4 |
Водород (H2) съдържание (обемна фракция)/10-6 ≤ | 1 |
Кислород (O2) съдържание (обемна фракция)/10-6 ≤ | 1 |
Съдържание на аргон (Ar) (обемна фракция)/10-6 ≤ | |
Азот (N2) съдържание (обемна фракция)/10-6 ≤ | 2 |
Съдържание на въглероден оксид (CO) (обемна фракция)/10-6≤ | 0,5 |
Въглероден диоксид (CO2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 0,5 |
Метан (CH4) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 0,5 |
Вода H2Съдържание на O (обемна фракция)/10-6≤ | 3 |
Общо съдържание на списанието/10-6≤ | 10 |