прадукты
Чатырохфтарысты вуглярод
Тэтрафторметан, таксама вядомы як чатырохфтарыд вугляроду, з'яўляецца найпростым фторуглеродам (CF4).Ён мае вельмі высокую трываласць сувязі дзякуючы прыродзе вугляродна-фторнай сувязі.Яго таксама можна класіфікаваць як галаалкан або галаметан.Дзякуючы множным вугляродна-фторным сувязям і найвышэйшай электраадмоўнасці фтору вуглярод у тэтрафторметане мае значны станоўчы частковы зарад, які ўзмацняе і скарачае чатыры вугляродна-фторныя сувязі, надаючы дадатковы іённы характар.Тэтрафторметан - магутны парніковы газ.
Тэтрафторметан часам выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту.Ён выкарыстоўваецца ў мікрафабрыкацыі электронікі асобна або ў спалучэнні з кіслародам у якасці плазменнага траўніка для крэмнія, дыяксіду крэмнія і нітрыду крэмнія.
| Хімічная формула | CF4 | Малекулярная маса | 88 |
| нумар CAS | 75-73-0 | № EINECS | 200-896-5 |
| Тэмпература плаўлення | -184 ℃ | Болінг кропка | -128,1 ℃ |
| растваральнасць | Нерастваральны ў вадзе | Шчыльнасць | 1,96 г/см³（-184℃） |
| Знешні выгляд | Бескаляровы, негаручы, сціскальны газ без паху | Ужыванне | выкарыстоўваецца ў працэсе плазменнага тручэння для розных інтэгральных схем, а таксама выкарыстоўваецца ў якасці лазернага газу, хладагента і г.д. |
| Ідэнтыфікацыйны нумар DOT | ААН1982 | DOT/IMO НАЗВА ДАСТАЎКІ: | Тэтрафторметан, сціснуты або холадагент R14 |
| Клас небяспекі DOT | Клас 2.2 |
| Пункт | Каштоўнасць I гатунку | Значэнне II гатунку | Адзінка |
| Чысціня | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Іншыя фторуглероды | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Кіслотнасць | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *іншыя фторвугляроды адносяцца да С2F6、C3F8 | |||
Заўвагі
1) усе тэхнічныя дадзеныя, пазначаныя вышэй, прызначаны для вашай даведкі.
2) альтэрнатыўная спецыфікацыя вітаецца для далейшага абмеркавання.
