Maddə | Texniki Mülkiyyət | ||
Təmiz oksigen | Yüksək təmizlik oksigen | Ultra saf oksigen | |
Oksigen (O2) təmizlik (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
Azot (N2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
Karbon qazı (CO2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
Ümumi karbohidrogen tərkibi (həcm hissəsi) (metanla hesablanmış)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
Su (H2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Tətbiq sahəsi: əsasən standart qaz qarışığının hazırlanmasında, elmi tədqiqatlarda, inteqral sxemlərin və yarımkeçirici cihazların istehsalında və oksigen təmizliyinə yüksək tələblər olan digər sahələrdə istifadə olunur.