Maddə | Texniki Mülkiyyət | ||
Təmiz azot | Yüksək saflıqda azot | Ultra saf azot | |
Azot (N2) təmizlik (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | - | - | 2 |
Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
Karbon monoksit (CO) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Karbon qazı (CO2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
Metan (CH4) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
Su (H2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |