Maddə | Texniki Mülkiyyət | ||
Yüksək təmizlik ksenon GB/T5828-2006 | Ultra saf ksenon | ||
Ksenon (Xe) təmizliyi (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.999 | 99.9995 | 99.9999 |
Azot (N2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 2.5 | 1.5 | 0.2 |
Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 1.5(O2+Ar) | 0,5(O2+Ar) | 0.1 |
Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.05 | ||
Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 | 0.5 | 0.05 |
Karbon monoksit (CO) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0,05(CO+CO2) |
Karbon qazının (CO2) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | |
Metan (CH4) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.3 | 0.1 | 0.05 |
Su (H2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Kripton (Kr) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 2 | 1 | 0.1 |
Azot oksidi (N2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 0.2 | 0.1 | 0.05 |
Flüor (C2F6) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 | 0.1 | 0.05 |
Flüor (SF6) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | Yoxdur | Yoxdur | 0.05 |
Tətbiq sahələri: əsasən yarımkeçirici sənaye, aerokosmik, elektrik işıq mənbəyi sənayesi, tibbi müalicə, elektrik vakuumu, qaranlıq maddə tədqiqatı, lazer və digər sahələrdə istifadə olunur.