Maddə | Texniki Mülkiyyət |
Yüksək təmiz helium | |
Helium He saflığı (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.999 |
Neon (Ne) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 4 |
Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 1 |
Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 1 |
Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | |
Azot (N2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 2 |
Karbon monoksit (CO) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
Karbon qazı (CO2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
Metan (CH4) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
Su H2O məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 3 |
Ümumi jurnal məzmunu/10-6≤ | 10 |