Maddə | Texniki Mülkiyyət | |
Arqon (Ar) təmizliyi (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
Azot (N2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Dəm qazının (CO) və karbon qazının (CO2), (həcm hissəsi)/10-6≤ | Dəm qazı: 0,1 Karbon qazı: 0,1 | 0.5 |
Ümumi karbohidrogen (metanla hesablanmış) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
Su (H2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
Ümumi çirkin miqdarı (həcm hissəsi)/10-6≤ | 1 | 8 |
Taxıl | Təchizatçı və Tələbçi tərəfindən razılaşdırılmışdır | Təchizatçı və Tələbçi tərəfindən razılaşdırılmışdır |
Qeyd: Maye arqonda su miqdarı qazlaşdırıldıqdan sonra ölçülməlidir |
Tətbiq sahəsi: əsasən sistemin təmizlənməsi, qorunması və təzyiqi üçün istifadə olunur. O, həmçinin kimyəvi buxarların çökdürülməsi, püskürtülməsi, plazma və aktiv ionların aşındırılması, tavlama və digər müxtəlif proseslərdə, həmçinin elektron xüsusi qarışıq qazda istifadə edilə bilər.