منتجات
رابع فلوريد الكربون
رباعي فلورو الميثان، المعروف أيضًا باسم رباعي فلوريد الكربون، هو أبسط الفلوروكربون (CF4).يتمتع بقوة ربط عالية جدًا نظرًا لطبيعة الرابطة بين الكربون والفلور.ويمكن أيضًا تصنيفه على أنه هالو ألكان أو هالوميثان.بسبب الروابط المتعددة بين الكربون والفلور، وأعلى سالبية كهربية للفلور، فإن الكربون الموجود في رباعي فلورو الميثان لديه شحنة جزئية موجبة كبيرة تعمل على تقوية وتقصير روابط الكربون والفلور الأربعة من خلال توفير شخصية أيونية إضافية.رباعي فلورو الميثان هو أحد غازات الدفيئة القوية.
يستخدم رباعي فلورو الميثان أحيانًا كمبرد بدرجة حرارة منخفضة.يتم استخدامه في التصنيع الدقيق للإلكترونيات بمفرده أو بالاشتراك مع الأكسجين كعامل بلازما للسيليكون وثاني أكسيد السيليكون ونيتريد السيليكون.
| صيغة كيميائية | CF4 | الوزن الجزيئي الغرامي | 88 |
| CAS رقم. | 75-73-0 | رقم اينكس | 200-896-5 |
| نقطة الانصهار | -184 درجة مئوية | نقطة بولينغ | -128.1 درجة مئوية |
| الذوبان | غير قابل للذوبان في الماء | كثافة | 1.96 جرام/سم مكعب (-184 درجة مئوية) |
| مظهر | غاز عديم اللون والرائحة وغير قابل للاشتعال وقابل للضغط | طلب | يستخدم في عملية الحفر بالبلازما لمختلف الدوائر المتكاملة، ويستخدم أيضًا كغاز ليزر ومبرد وما إلى ذلك. |
| رقم معرف النقطة | UN1982 | اسم الشحن DOT/IMO: | رباعي فلورو الميثان، غاز مضغوط أو غاز التبريد R14 |
| فئة خطر DOT | فئة 2.2 |
| غرض | القيمة، الصف الأول | القيمة، الصف الثاني | وحدة |
| نقاء | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | .01.0 | .50.5 | ppmv |
| N2 | .04.0 | .01.0 | ppmv |
| CO | .10.1 | .10.1 | ppmv |
| CO2 | .01.0 | .50.5 | ppmv |
| SF6 | .80.8 | .20.2 | ppmv |
| مركبات الفلوروكربون الأخرى | .01.0 | .50.5 | ppmv |
| H2O | .01.0 | .50.5 | ppmv |
| H2 | .01.0 | —— | ppmv |
| حموضة | .10.1 | .10.1 | ppmv |
| * تشير مركبات الفلوروكربون الأخرى إلى C2F6、ج3F8 | |||
ملحوظات
1) جميع البيانات الفنية المذكورة أعلاه هي للرجوع إليها.
2) المواصفات البديلة موضع ترحيب لمزيد من المناقشة.
