Tetrafluoromethane, በተጨማሪም ካርቦን tetrafluoride በመባል የሚታወቀው, ቀላሉ fluorocarbon (CF4) ነው.በካርቦን-ፍሎራይን ቦንድ ተፈጥሮ ምክንያት በጣም ከፍተኛ የማገናኘት ጥንካሬ አለው.እንዲሁም እንደ ሃሎልካን ወይም ሃሎሜትቴን ሊመደብ ይችላል.በበርካታ የካርበን-ፍሎራይን ቦንዶች እና ከፍተኛው የፍሎራይን ኤሌክትሮኔጋቲቭነት ምክንያት በቴትራፍሎሮሜትታን ውስጥ ያለው ካርበን ተጨማሪ ionክ ባህሪን በማቅረብ አራቱን የካርቦን-ፍሎሪን ቦንዶችን የሚያጠናክር እና የሚያሳጥር ጉልህ የሆነ አዎንታዊ ከፊል ቻርጅ አለው።Tetrafluoromethane ኃይለኛ የሙቀት አማቂ ጋዝ ነው።
Tetrafluoromethane አንዳንድ ጊዜ እንደ ዝቅተኛ የሙቀት ማቀዝቀዣ ጥቅም ላይ ይውላል.በኤሌክትሮኒክስ ማይክሮ ፋብሪካ ውስጥ ብቻውን ወይም ከኦክሲጅን ጋር በማጣመር ለሲሊኮን, ለሲሊኮን ዳይኦክሳይድ እና ለሲሊኮን ናይትራይድ እንደ ፕላዝማ ተጨማሪ ጥቅም ላይ ይውላል.
የኬሚካል ቀመር | ሲኤፍ4 | ሞለኪውላዊ ክብደት | 88 |
CAS ቁጥር. | 75-73-0 | EINECS ቁጥር. | 200-896-5 |
የማቅለጫ ነጥብ | -184 ℃ | የሚያብረቀርቅ ነጥብ | -128.1℃ |
መሟሟት | በውሃ ውስጥ የማይሟሟ | ጥግግት | 1.96ግ/ሴሜ³ (-184℃) |
መልክ | ቀለም የሌለው፣ ሽታ የሌለው፣ የማይቀጣጠል፣ ሊታመም የሚችል ጋዝ | መተግበሪያ | ለተለያዩ የተቀናጁ ወረዳዎች በፕላዝማ ኢቲንግ ሂደት ውስጥ ጥቅም ላይ ይውላል ፣ እና እንደ ሌዘር ጋዝ ፣ ማቀዝቀዣ ወዘተ. |
የDOT መታወቂያ ቁጥር | UN1982 | ነጥብ/IMO የማጓጓዣ ስም፡- | Tetrafluoromethane, የታመቀ ወይም ማቀዝቀዣ ጋዝ R14 |
DOT አደጋ ክፍል | ክፍል 2.2 |
ንጥል | እሴት፣ ደረጃ I | ዋጋ፣ ክፍል II | ክፍል |
ንጽህና | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ፒፒኤምቪ |
N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ፒፒኤምቪ |
CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ፒፒኤምቪ |
CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ፒፒኤምቪ |
SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ፒፒኤምቪ |
ሌሎች ፍሎሮካርቦኖች | ≤1.0 | ≤0.5 | ፒፒኤምቪ |
H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ፒፒኤምቪ |
H2 | ≤1.0 | —— | ፒፒኤምቪ |
አሲድነት | ≤0.1 | ≤0.1 | ፒፒኤምቪ |
* ሌሎች ፍሎሮካርቦኖች ሲን ያመለክታሉ2F6ሲ3F8 |
ማስታወሻዎች
1) ሁሉም ከላይ የተገለጹት ቴክኒካዊ መረጃዎች ለማጣቀሻዎችዎ ናቸው.
2) አማራጭ መግለጫ ለተጨማሪ ውይይት እንኳን ደህና መጡ።