Produkte
Koolstoftetrafluoried
Tetrafluormetaan, ook bekend as koolstoftetrafluoried, is die eenvoudigste fluorkoolstof (CF4).Dit het 'n baie hoë bindingssterkte as gevolg van die aard van die koolstof-fluoorbinding.Dit kan ook geklassifiseer word as 'n haloalkaan of halometaan.As gevolg van die veelvuldige koolstof-fluoorbindings, en die hoogste elektronegatiwiteit van fluoor, het die koolstof in tetrafluormetaan 'n beduidende positiewe gedeeltelike lading wat die vier koolstof-fluoorbindings versterk en verkort deur addisionele ioniese karakter te verskaf.Tetrafluormetaan is 'n kragtige kweekhuisgas.
Tetrafluormetaan word soms as 'n lae temperatuur koelmiddel gebruik.Dit word gebruik in elektroniese mikrovervaardiging alleen of in kombinasie met suurstof as 'n plasma-etsmiddel vir silikon, silikondioksied en silikonnitried.
| Chemiese formule | CF4 | Molekulêre gewig | 88 |
| CAS No. | 75-73-0 | EINECS No. | 200-896-5 |
| Smeltpunt | -184℃ | Bolling punt | -128.1℃ |
| oplosbaarheid | Onoplosbaar in water | Digtheid | 1,96g/cm³（-184℃） |
| Voorkoms | 'n Kleurlose, reuklose, nie-vlambare, saamdrukbare gas | Toepassing | gebruik in plasma-etsproses vir verskeie geïntegreerde stroombane, en word ook gebruik as lasergas, koelmiddel, ens. |
| DOT ID nommer | VN 1982 | DOT/IMO VERSENDINGSNAAM: | Tetrafluormetaan, saamgeperste of koelmiddelgas R14 |
| DOT-gevaarklas | Klas 2.2 |
| Item | Waarde, graad I | Waarde, graad II | Eenheid |
| Reinheid | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Ander fluorkoolstowwe | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Suurheid | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *ander fluorkoolstowwe verwys na C2F6、C3F8 | |||
Notas
1) al die tegniese data hierbo aangedui is vir u verwysing.
2) alternatiewe spesifikasie is welkom vir verdere bespreking.
